几乎每个行业都使用洁净室，因为小颗粒会对制造过程产生不利影响。它们的大小和复杂程度各不相同，广泛应用于半导体制造、制药、生物技术、医疗器械和生命科学等行业，以及航空航天、光学、军事和能源部常见的关键工艺制造业。

 

洁净室是指任何给定的封闭空间，在这里可以减少微粒污染并控制其他环境参数，如温度、湿度和压力。其关键部件是高效微粒空气（HEPA）过滤器，用于捕捉0.3微米及更大尺寸的颗粒。所有输送到洁净室的空气都要经过HEPA过滤器，在一些需要严格清洁性能的情况下，使用超低颗粒空气（ULPA）过滤器。

 

选择在洁净室工作的人员接受污染控制理论方面的广泛培训。他们通过气闸室、空气淋浴间和/或更衣室进出洁净室，他们必须穿着专门设计的衣服，以截留皮肤和身体自然产生的污染物。

 

 

 

根据房间的分类或功能，工作人员穿的衣服可能像实验室工作服和发网一样有限，也可能像完全包裹在带有自给式呼吸器的多层兔子服中一样广泛。

 

洁净室服装用于防止物质从穿着者身上释放并污染环境。洁净室衣物本身不得释放颗粒或纤维，以防止人员污染环境。这种类型的人员污染会降低半导体和制药行业的产品性能，并可能导致医疗行业的医务人员和患者之间的交叉感染。

 

洁净室服装包括靴子、鞋子、围裙、胡须套、蓬松帽、工作服、面罩、工装/实验室外套、长袍、手套和手指套、发网、兜帽、袖子和鞋套。使用的洁净室服装类型应反映洁净室和产品规格。低层洁净室可能只需要鞋底完全光滑、不会在灰尘或污垢中留下痕迹的特殊鞋子。但是，鞋底不能造成滑倒的危险，因为安全总是优先考虑的。进入洁净室通常需要穿洁净室服。10000级洁净室可以使用简单的工作服、头套和靴子。对于10级洁净室，需要仔细穿戴带有拉链的罩衣、靴子、手套和完整的呼吸器外壳。

 

 

 

 

洁净室通过采用层流或湍流气流原理的HEPA或ULPA过滤器来保持无颗粒空气。层流或单向气流系统将过滤后的空气以恒定的气流向下引导。层流空气流动系统通常用于整个天花板的100%，以保持恒定的单向流动。层流标准通常在便携式工作站（LF罩）中规定，并在ISO-1至ISO-4分类洁净室中强制执行。

 

适当的洁净室设计包括整个空气分配系统，包括提供足够的下游空气回流。在垂直流动的房间，这意味着在区域周围使用低壁空气回流。在水平流应用中，需要在工艺的下游边界处使用回流空气。安装在天花板上的回风装置的使用与适当的洁净室系统设计相矛盾。

 

 

洁净室按空气的洁净程度分类。在美国联邦标准209（A至D）中，等于或大于0.5µm的颗粒数是在1立方英尺空气中测量的，该计数用于对洁净室进行分类。本标准的最新209E版本也接受该公制术语。国内采用联邦标准209E。较新的标准是国际标准组织的tc209。这两个标准都是根据实验室空气中发现的颗粒物数量对洁净室进行分类的。洁净室分类标准FS 209E和ISO 14644-1要求具体的颗粒计数测量和计算。